據南方財富網概念查詢工具數據顯示，集成電路裝備概念股票有：
晶盛機電：
近5個交易日，晶盛機電期間整體上漲1.1%，最高價為42.43元，最低價為39.72元，總市值上漲了5.89億。
普利特：
上海市青浦區(qū)趙巷鎮(zhèn)滬青平公路2855弄1號12樓。
近5個交易日股價上漲4.09%，最高價為13.7元，總市值上漲了6.23億。
炬光科技：
在近5個交易日中，炬光科技有3天上漲，期間整體上漲7.07%。和5個交易日前相比，炬光科技的市值上漲了10.36億元，上漲了7.07%。
至純科技：
國內能提供到28納米節(jié)點全部濕法工藝的本土供應商；公司目前80%的業(yè)務服務于集成電路領域，主營業(yè)務主要包括半導體制程設備、系統集成及支持設備的研發(fā)和生產銷售，以及由此衍生的部件材料及專業(yè)服務；公司為半導體及相關高科技新興產業(yè)客戶提供濕法工藝整體解決方案。
近5個交易日股價上漲7.34%，最高價為34.68元，總市值上漲了9.67億。
中微公司：
在近5個交易日中，中微公司有5天上漲，期間整體上漲9.93%。和5個交易日前相比，中微公司的市值上漲了184.46億元，上漲了9.93%。
華海清科：
在近5個交易日中，華海清科有4天上漲，期間整體上漲5.02%。和5個交易日前相比，華海清科的市值上漲了26.68億元，上漲了5.02%。
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