據(jù)南方財(cái)富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，極紫外光刻相關(guān)上市公司有：
大恒科技：
總股本4.37萬股，流通A股4.37萬股，每股收益-0.07元。
2018年大恒科技光電所承擔(dān)的科技部重大儀器專項(xiàng)“基于飛秒激光的太赫茲時(shí)域光譜儀”、“軟X射線/極紫外無諧波光柵單色儀”項(xiàng)目完成預(yù)驗(yàn)收工作，已報(bào)正式驗(yàn)收流程。
漢鐘精機(jī)：10月30日收盤消息，漢鐘精機(jī)開盤報(bào)25.18元，截至15點(diǎn)，該股跌2.17%，報(bào)24.300元，總市值為129.94億元，PE為15.06。
漢鐘精機(jī)總股本5.35萬股，流通A股5.31萬股，每股收益1.61元。
20年7月，公司在互動(dòng)平臺(tái)表示：公司真空泵可用于極紫外光刻，且一直在積極推進(jìn)中在該行業(yè)的使用。
奧普光電：根據(jù)數(shù)據(jù)顯示，奧普光電股票在10月30日15點(diǎn)跌3.28%，報(bào)價(jià)為53.740元。當(dāng)日成交額達(dá)到3.69億元，換手率2.83%，總市值為128.98億元。
總股本2.4萬股，流通A股2.4萬股，每股收益0.28元。
中國科學(xué)院長春光機(jī)所旗下唯一控股上市企業(yè)，國內(nèi)高端光柵編碼器企業(yè)，潛在用途包括光刻機(jī)。禹衡光學(xué)半導(dǎo)體領(lǐng)域光柵尺完成小批量驗(yàn)證。
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